Optimierung der Signalextraktion zur Analyse des Materialverhaltens von Kupfer-Beschichtungen
Manuelle Kalibrierung (oben) / automatische Kalibrierung mit optiSLang (unten)

optiSLang bietet effektive Methoden zur Parameteridentifikation für die Analyse des Materialverhaltens von Kupfer-Beschichtungen durch elektrochemische Deposition (ECD) in der Halbleiterindustrie.

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