Optimierung der Signalextraktion zur Analyse des Materialverhaltens von Kupfer-Beschichtungen
Manuelle Kalibrierung (oben) / automatische Kalibrierung mit optiSLang (unten)
optiSLang bietet effektive Methoden zur Parameteridentifikation für die Analyse des Materialverhaltens von Kupfer-Beschichtungen durch elektrochemische Deposition (ECD) in der Halbleiterindustrie.